TN-G1700S三溫區三路管式爐氣體CVD系統

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    關鍵詞: 管式爐   三溫區管式爐   CVD系統     

    摘要

    產品名稱	TN-G1700S三溫區三路氣體CVD系統
    產品型號	
    產品簡介	
    三溫區管式爐主要用途:陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業做粉末焙燒、陶瓷燒結、高溫實驗、材料處理、質高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等。

    產品介紹

    三溫區管式爐主要用途:陶瓷、冶金、電子、玻璃、化工、機械、耐火材料、特種材料、建材、高校、科研院所、工礦企業做粉末焙燒、陶瓷燒結、高溫實驗、材料處理、質高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等。

    三溫區管式爐主要功能和特點:

    1.設備的控制系統具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區多、可選配氣氛、抽真空等。

    三溫區管式爐技術參數:

    1

    產品型號

    TN-G1700S

    2

    爐 膛

    高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好。

    3

    爐管尺寸

    Φ60×1200mm

    4

    加熱元件

    溫區1溫區3-硅碳棒,溫區2硅鉬棒

    5

    測溫元件

    溫區1溫區3   S級, 溫區2   B級

    6

    控溫方式

    溫度控制采用三個高精度30段數字控溫儀分別控制,具有PID調節、自整定功能,30段升降溫程序

    7

    密封方式

    不銹鋼法蘭密封

    8

    真空系統

    高真空系統組(達到技術要求)

    9

    工作溫度

    溫區1溫區3≤1400℃     溫區2≤1700℃

    10

    溫度

    溫區1溫區3≤1450℃     溫區2≤1750℃

    11

    恒溫精度

    ±1℃

    12

    恒溫區長度

    總加熱區長度不小于 25〞

    13

    建議升溫速度

    溫區1溫區3  20℃/min      溫區2     10℃/min

    14

    氣體流量系統

    三通道質量流量控制系統(達到技術要求)

    15

    額定功率

    10KW

    16

    工作電源

    AC220V/50HZ/60HZ

    17

    標準配件

    三溫區管式爐 1臺,高真空系統  1套,三通道質量流量控制系統 1套,原廠配置管式爐架 1個

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